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MEMS惯性传感器发展历程1954年，压阻效应的出现为微型压力传感器的研制提供了理论基础，而60年代Draper实验室对MEMS加速度计的研发工作启动也标志着该行业进入启动期阶段，在启动期期间，多项革命性的产品出现，为后来的产品提供了原型。经过了40年左右的启动期过渡，美国ADI公司研制出世界上第一款单片集成的 [详细]
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